Mașini de șlefuire din seria EAG-28DANX

Seria EAG-28DANX de la Engis Corporation este un sistem complet automatizat de șlefuire cu două axe, proiectat pentru tăierea de precizie a materialelor avansate precum carbură de siliciu (SiC). Acest sistem permite șlefuirea grosieră și fină simultană pe ambele fețe ale unui wafer, crescând randamentul și reducând necesitatea proceselor tradiționale de lapping.

• Configurație dual-spindle: realizează șlefuirea grosieră și fină într-o singură trecere, îmbunătățind eficiența și calitatea suprafeței.

• Măsurare grosime în proces: oferă opțiuni atât cu senzori fără contact, cât și cu senzori de contact, pentru monitorizarea și controlul în timp real al grosimii waferului.

• Structură robustă din fontă: asigură rigiditate și stabilitate ridicate, esențiale pentru operații de șlefuire de precizie.

• Sistem de control bazat pe PC: oferă o interfață intuitivă pentru monitorizarea și controlul avansat al procesului.

• Automatizare cassette-to-cassette: permite integrarea fără întreruperi în liniile de producție automatizate.

• Protocol de interfață SECS/GEM: asigură compatibilitatea cu standardele de comunicație din fabricarea semiconductorilor.

• Monitorizare în timp real a datelor: permite urmărirea parametrilor de proces și facilitează controlul calității